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四甲基氫氧化銨
四甲基氫氧化銨 (75-59-2)性狀
簡(jiǎn)稱:TMAH:
沸點(diǎn):110 °C密度:0.866 g/mL at 25 °C
蒸氣壓:17.5 mm Hg ( 20 °C)
折射率:n20/D 1.384
閃點(diǎn):80 °F
儲(chǔ)存條件 2-8°C
四甲基氫氧化銨用途
1.在有機(jī)硅方面,四甲基氫氧化銨作為二甲基硅油,氨基硅油,苯甲基硅油,有機(jī)硅擴(kuò)散泵油,無(wú)溶劑有硅模塑料,有機(jī)硅樹(shù)脂,硅橡膠等的催化劑;
2.在分析方面,四甲基氫氧化銨作為極譜試劑;
3.在產(chǎn)品提純方面作為無(wú)灰堿用以沉淀許多金屬元素;
4.在有機(jī)硅片生產(chǎn)中常用作計(jì)算機(jī)硅片面用光亮劑、清洗劑和觸刻劑等。
優(yōu)點(diǎn):
四甲基氫氧化銨優(yōu)點(diǎn)是:它具有強(qiáng)堿性,在不超過(guò)分解點(diǎn)的溫度下穩(wěn)定。當(dāng)催化完畢后很容易除掉,不留任何殘?jiān)?。?duì)有機(jī)硅產(chǎn)品無(wú)污染。因此又稱為“暫時(shí)催化劑”,在分析中可用于極譜試劑用來(lái)沉淀不含灰份的許多元素的氫化物。
四甲基氫氧化銨(TMAH)的應(yīng)用領(lǐng)域如下
(1)表面活性劑:由于TMAH屬于季銨堿,可以用作表面活性劑。
(2)有機(jī)合成試劑:TMAH是有機(jī)堿,能和各種不同的酸反應(yīng)制備相應(yīng)的銨鹽,如四甲基碳酸氫銨,四甲基氟化銨等較難合成且沒(méi)有市售的銨鹽;制備酸性化合物烷基衍生物等。(3)催化劑:四甲基氫氧化銨在有機(jī)硅合成方面被廣泛用作相轉(zhuǎn)移催化劑,如作二甲基硅油、苯甲基硅油、有機(jī)硅擴(kuò)散泵油、無(wú)溶劑有硅模塑料、有機(jī)硅樹(shù)脂和硅橡膠等的催化劑;可作為橡膠防老劑中間體的縮合催化劑;作沸石、分子篩合成的催化劑。其優(yōu)點(diǎn)是,反應(yīng)完后加熱升溫,可使之分解為氣體而趕走不殘留在產(chǎn)品中。
(4)分析領(lǐng)域:TMAH是優(yōu)異的甲基化劑,其甲基化能大,酯化速度快,在用氣相色譜法測(cè)定脂肪酸的組成時(shí),TMAH用作前處理劑。在極譜分析中作支持電解質(zhì);TMAH是強(qiáng)有機(jī)堿,可作為有機(jī)酸的滴定劑,尤其是在避免金屬離子和非水溶劑時(shí),TMAH是很好的選擇。
(5)半導(dǎo)體領(lǐng)域:有機(jī)材料蝕刻中TMAH作為正膠顯影劑,有機(jī)材料蝕刻主要是指光刻膠在經(jīng)過(guò)顯影和圖形轉(zhuǎn)移后的去膠;TMAH是一種具有優(yōu)良的腐蝕性能的各向異性腐蝕劑,選擇性好,無(wú)毒且不污染環(huán)境。最重要的是TMAH與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)(CMOS)工藝相兼容,符合SOC(嵌入式系統(tǒng)微處理器)的發(fā)展趨勢(shì)。TMAH正逐漸替代KOH和其他腐蝕液,成為實(shí)現(xiàn)微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)工藝中微三維結(jié)構(gòu)的主要腐蝕劑。
(6)其他領(lǐng)域:在產(chǎn)品提純方面作為無(wú)灰堿用以沉淀許多金屬元素;作pH值緩沖劑。
包裝:
塑料瓶、塑料桶。
工業(yè)上常用25%四甲基氫氧化銨溶液